Установки вакуумного напыления
Установки вакуумного напыления
Установки, производящие вакуумное напыление — это совокупность устройств, самостоятельно выполняющих определенные технологическим процессом функции.
Среди которых:
- откачка воздуха — создание необходимого разрежения;
- распыление, испарение материала, наносимого на деталь;
- транспортировка деталей, на которые происходит напыление металла;
- контроль режимов, при которых наносится вакуумное покрытие;
- электропитание и иные.
Монтирование вакуумной установки
Установки вакуумного напыления
Установка монтируется из узлов, определяющих их функциональность:
- рабочей камеры, в которой осуществляется вакуумная металлизация или иной вид покрытия;
- источников испаряемых материалов (металлов), вкупе с энергообеспечивающими системами и управляющими устройствами;
- системы управления и контроля, которая обеспечивает толщину пленки, скорость напыления, температуру отжига и температуру поверхности детали, физические свойства пленок (набор датчиков, имеющих связь с микропроцессором, выполняющим управление исполнительными механизмами);
- газораспределительной и откачивающей системы, обеспечивающих создание вакуума, а также распределение газовых потоков (насосы, натекатели, ловушки, средства измерения);
- системы электропитания и блокировки рабочих узлов и устройств;
- транспортирующего устройства подачи-извлечения деталей в вакуумную камеру, предельно точно определяющее их размещение-перемещение по позициям в процессе многослойного нанесения пленок;
- системы дополнительных (вспомогательных) устройств, технологической оснастки, которая состоит из внутрикамерных манипуляторов, заслонок, пневмо- и гидроприводов, газовых фильтров и т. п.